エアー、ヘリウム配管を治具内に格納し、内圧保持させる方式によりチャンバーに余計な穴をあける必要がなく、管理が簡単になりました。自動カプラは社内検査装置により、封入試験済みで治具からのリークはなく精密な測定が可能です。真空ポンプ、ディテクターは各種メーカに対応しておりますので、カスタムメイドで設備製作をしています。

大気への漏れを検査するエアーリーク検査装置です。直圧法、差圧法に対応しており、お客様の検査圧力とリークレートによって最適な設計をしております。手動脱着のほか、ロボットを搭載した自動搬送装置も対応可能です。微小な漏れ圧から５Mpa以上の高圧リーク機器も実績があります。

ダイアフラムポンプを仕様していますので、空気抜きが不要でエアーがみの影響もありません。これによって、積極的に液面を吸うことができ浮上油と異物を吸い込みます。また、タンク下面からも吸い込むことによりスラッジ回収を同時に行い、液中の異物除去に貢献します。ダイアフラム材質の変更により各種液体に対応しています。

空箱や素材箱を段積みされた状態で投入すると、自動で段バラシし１個搬送を行う装置です。蓋つき箱の場合自動開閉をしたり、蓋を自動取付する機能も対応可能です。箱への素材投入や、素材取り出しをロボットで実施することも可能です。払い出し側には段積み機能も持たすことができ、煩わしい作業を自動化させることができます。箱のサイズが違っても段替え機能を有しており、お客様に合わせた専用設計にて複数機種対応が可能です。